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表面粒子检测分析仪
表面粒子计数器（表面颗粒物检测分析仪）是检测物体表面（尤其金属表面）单位面积内尘埃颗粒数量及粒径分布状况的专用测量仪器。它是一款用于测量和检测机台或切片等物体表面微粒子（SPD）的精密仪器，它采用目前最先进的技术来实现测量的精确性和产品的稳定性。测量直径在 100um 以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃避常规的空气检测从而聚积在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产品的稳定性， 表面粒子检测器可测量（0.1~5um）、（0.3~10um）、（（5~125um）的粒子，通过对表面粒子数量和粒径分析，以便更准确的分析产品的品质，以便做进一步的产品品质改善。对于生产环境的控制，提升产品的良率都起到了很大的作用，能够帮助企业更快捷的实现数据化管理。